中科仪科创板IPO：2019年高管总薪酬577万元 产品打入中芯国际、长江存储

【字谜科技讯】2月20日消息，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（中科仪）近日向科创板提交IPO招股书显示，2019年高管总薪酬577.47万元，当年亏损3,103.36万元。2020年上半年总薪酬295.8万元，同期亏损3,987.78万元。

招股书显示，截止到2020年6月30日，公司拥有500名员工。其中，行政管理人员66名，研发人员73名，设计人员33名，技术服务人员28名，生产人员241名，销售人员59名。从学历看，硕士及以上49名，大学本科173名，大学专科173名，大专以下105名。

公司主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。干式真空泵是半导体制造工艺设备的核心附属设备，为集成电路、光伏、LED、平板显示、锂电池等行业的生产设备提供所必需的高度洁净真空环境。公司真空仪器设备产品主要包括大科学装置、真空薄膜仪器设备、新材料制备设备三大类。其中大科学装置指用于基础科学研究的国家重大科学工程的大型科研装置与设施；真空薄膜仪器设备主要包括用于科研的PVD、CVD设备；新材料制备设备主要包括晶体材料制备设备、真空冶金设备等。同时，公司为干式真空泵、真空仪器设备提供设备维修、保养等技术服务。

公司起源于20世纪50年代创建的中国科学院下属专门从事真空科研仪器研制的事业单位，1984年设立中国科学院沈阳科学仪器厂，于2001年转制设立有限责任公司。长期以来，公司及其前身始终专注于真空技术及装备领域，承担了“国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020）”-“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（“02专项”）、“高档数控机床与基础制造装备”（“04专项”）等国家重大科技专项，并建有真空技术装备国家工程实验室、国家真空仪器装置工程技术研究中心。公司通过自主研发创新实现了国产干式真空泵在集成电路领域的批量应用。截至目前，公司的干式真空泵系列产品已经在中芯国际、长江存储、北方华创、上海华力、积塔半导体、广州粤芯等国内集成电路生产及装备制造企业实现大批量应用，是国内唯一一家实现在集成电路制造领域大批量应用的干式真空泵生产企业，打破了欧美及日本企业对同类产品的长期垄断，实现了集成电路领域重要设备的自主可控，增强了集成电路产业供应链的自主可控能力。