苏大维格：在纳米光刻机研制领域有积累

【字谜科技】12月23日，苏大维格在互动平台透露，公司长期从事激光直写光刻机的研制，尤其在用于新一轮光子传感器的纳米光刻机研制领域积累了丰富且较为完善的技术经验，可为国内外高等院所和企业提供自主可控的直写光刻技术和光电子材料与器件技术方案。

苏大维格表示，在光刻机整机方面，公司光刻设备除自用外，以往年份主要向国内外高校及科研院所销售，今年开始向企业拓展，并成功实现了对半导体领域企业的销售。

同时，苏大维格还透露，在光刻机关键器件方面，公司向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件。