【i紫米】4月25日，至纯科技在互动平台表示，公司主要的技术路线是高温硫酸清洗技术，硫酸回收技术，二流体清洗技术等，针对先进技术研发部分， 适用于先进制程工艺几项专用技术也在开发中，预计今年会陆续进行验证。 针对清洗设备的效率方面，需要看设备的整体设计，包括传输系统、机械臂设计等，目前公司的设备效率是对标全球一线大厂，并且在下游客户中也获得广泛的认可。

至纯科技，成立于2000年，是一家在上交所上市的高新技术企业，证券代码603690.SH。致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案。系统解决方案涵盖了提供整个系统的设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务。 我们提供的系统和专业服务，广泛应用于半导体、微电子、生物医药、光伏、光纤、TFT-LCD、LED等领域。