南大光电：公司光刻机能满足28nm—90nm工艺节点的光刻胶检测

【i紫米】5月13日，南大光电在互动平台表示，公司目前主要的检测设备如光刻机，能够满足对28nm—90nm工艺节点的光刻胶进行检测。

同时，南大光电表示，公司主要产品价格自去年年初开始，有不同程度的提价。新建电子特气项目正在按计划建设。

江苏南大光电材料股份有限公司是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的高新技术企业，公司于2012年8月7日在深圳证券交易所创业板挂牌上市。公司先后攻克了国家863计划MO源全系列产品产业化、国家“02—专项”高纯电子气体（砷烷、磷烷）研发与产业化、ALD/CVD前驱体产业化等多个困扰我国数十年的项目，填补了多项国内空白。2017年，南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的193nm光刻胶材料的研发与产业化项目。通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化，南大光电形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块。