南大光电：主要检测设备如光刻机已经安装并投入使用

【i紫米】5月13日，南大光电在互动平台透露，目前主要的检测设备如光刻机已经安装并投入使用。符合公司要求的缺陷检测设备目前市场上比较稀缺，公司正在努力推进采购工作。 ArF光刻胶验证工作在顺利推进中，具体进展请关注相关信息披露。

江苏南大光电材料股份有限公司是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的高新技术企业，公司于2012年8月7日在深圳证券交易所创业板挂牌上市。公司先后攻克了国家863计划MO源全系列产品产业化、国家“02—专项”高纯电子气体（砷烷、磷烷）研发与产业化、ALD/CVD前驱体产业化等多个困扰我国数十年的项目，填补了多项国内空白。2017年，南大光电承担了集成电路芯片制造用关键核心材料之一的193nm光刻胶材料的研发与产业化项目。通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化，南大光电形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块。